SF6氣體回收裝置的凈化、干燥指裝置在不降低原氣體的純度情況下，對SF6氣體中所含有的固體雜質(zhì)、油份、水份加以去除，從而保證進(jìn)入電器設備的SF6氣體的純度。一般的凈化干燥隨回收貯存和充放過(guò)程同步完成，自循環(huán)凈化方法如下：

  SF6氣體回收裝置貯液罐內SF6自循環(huán)時(shí)，開(kāi)冷凍壓縮機、V5、V2、SF6壓縮機、V3。若SF6壓縮機排氣壓力太高可調節V2閥門(mén)開(kāi)啟大小，以便氣體正常循環(huán)。

  SF6氣體回收裝置自循環(huán)結束時(shí)，關(guān)V5、V2、SF6壓縮機、V6、冷凍壓縮機等。