真空度降低的原因

滅弧室內部材料含氣釋放

滅弧室漏氣：滅弧室密封質(zhì)量、機械沖擊

真空度檢測方法：

火花計法-淮確度低，人為、環(huán)境影響因素大)觀(guān)察法一準確度低，人為、環(huán)境影響因素大交流耐壓法-無(wú)法定量，不能作出預判斷。

真空度測試儀法

真空度在線(xiàn)監測：電光變換法、耦合電容法、壓力傳感法。

真空度測試儀基本原理

磁控放電法-高壓脈沖和磁場(chǎng)脈沖同時(shí)作用于真空滅弧室，使之內部產(chǎn)生脈沖磁控放電現象，產(chǎn)生離子電流，測量離子電流并與己知的電流-真空度曲線(xiàn)比較，得出真空度。

各廠(chǎng)產(chǎn)品差別

離子電流取值方法-峰值方法、積分方法

磁場(chǎng)線(xiàn)圈形式一固定式、纏繞式、對折式。

內存曲線(xiàn)數量一粗分、細分

測試精度問(wèn)題

前測量范圍0-10-4Pa，可達到10級。

現場(chǎng)測試注意事項

滅弧室表面應擦拭干凈

磁場(chǎng)線(xiàn)圈盡量貼近滅弧室

連續重復測試同一滅弧室，數據可能不準

測試完成后，真空開(kāi)關(guān)真空度測試儀應放電。

測試結果處理建議

不能完全排除交流耐壓試驗，應結合使用

測試結果10-4Pa數量級及以下，合格

測試結果在10-3Pa數量級，加強監測

測試結果10-2Pa數量級及以上，建議更換。